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中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

簡(jiǎn)要描述：中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
應(yīng)用
電子、半導(dǎo)體制造裝置（EB裝置等）
新一代半導(dǎo)體設(shè)備的研究開發(fā)
其他納米科技研究

訪問(wèn)次數(shù)：1189

所屬分類：測(cè)量?jī)x.檢測(cè)器

更新時(shí)間：2021-06-21

廠商性質(zhì)：代理商

詳情介紹
產(chǎn)地類別進(jìn)口

主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐熱性、低熱膨脹系數(shù)等特性，能適合在特殊環(huán)境下使用保證高精度、可靠性。
Al2O3的復(fù)合材料能在真空、非磁性條件下使用
導(dǎo)軌部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用潤(rùn)滑油，避免了污染真空環(huán)境，影響真空度
適用zui高真空度10－5Pa的環(huán)境

應(yīng)用
電子、半導(dǎo)體制造裝置（EB裝置等）
新一代半導(dǎo)體設(shè)備的研究開發(fā)
其他納米科技研究

 
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線性馬達(dá)規(guī)格

參數(shù)AME-15AME-25AMH-13AMH-15AMH-25
移動(dòng)量0～15mm0～25mm0～13mm0～15mm0～25mm
分辨率0.0001mm-
位置精度0.01mm-
zui大速度0.07mm/min1mm/min
推力98N（10kgf）-
工作溫度20±10℃
限位傳感器原點(diǎn)、zui大、zui小-
線長(zhǎng)2m
重量0.29Kg0.3Kg0.13Kg0.14Kg

中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

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